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光電空氣淨化用活性炭

日期 :2023-09-05
分類: 活性炭

光電晶圓廠空氣淨化定制活性炭解決方案

光電晶圓廠屬於精密製造行業,對空氣過濾要求嚴格,其生產過程需要在高度潔淨的環境中進行。因此,晶圓廠對空氣潔淨度要求非常高。廢氣是什麼?而如何選擇合適的活性炭極其重要。

廢氣光電晶圓廠

廢氣成分

光電晶圓工廠涉及許多精細的工藝步驟,需要精確的環境控制。光電行業廢氣污染物包括以下內容:
• 酸性廢氣
• 鹼性廢氣
• 有毒廢氣
• 苯系列(甲苯、二甲苯)
• 酮系氣體(丙酮、異丙醇、2-丁酮)
• 乙酸乙酯、二氯甲烷、
• 其他有機廢氣

廢氣來源

酸鹼廢氣主要來自擴散、CVD、CMP、刻蝕等工藝,這些工藝使用酸鹼清洗液對晶圓進行清洗。目前,過氧化氫和硫酸的混合物是半導體製造工藝中常用的清潔溶劑。這些過程中產生的廢氣包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等揮發氣體。鹼性氣體是氨。

廢氣影響

酸性和鹼性氣體的存在可能會對光電晶片和半導體器件的質量產生不利影響。酸性和鹼性氣體對光電工廠設備的腐蝕可能會導致設備損壞和壽命縮短。這些氣體中的酸性成分(如氫氟酸、氯化氫)和鹼性成分(如氨)能與設備表面的金屬或其他材料發生化學反應,引起材料的侵蝕和腐蝕。

活性炭吸附

活性炭是一種特殊的過濾材料。雖然過濾精度不是很高,但可以有效吸收空氣中的異味或有害氣體。它通常由椰子殼、堅果殼或煤炭等經過高溫活化的材料製成。活化後,活性炭材料內部會形成複雜而緻密的孔隙結構,使其獲得良好的吸附能力。高溫高效空氣過濾器中的活性炭過濾器在淨化過程中會牢牢吸附空氣中的有害氣體分子。然後,在分子間力的吸引下,越來越多的有害氣體分子會進入過濾器。直到空隙結構被填充。活性炭高效過濾器可以有效去除空氣中的高濃度酸、鹼和有機化合物氣體以及空氣中的各種有害氣體。

如何選擇活性炭光電產業?

通常,工廠在生產車間內安裝高效過濾器和空氣淨化設備來淨化空氣。為了遵守嚴格的空氣質量標準,工廠通常採用碘值較高且比表面積較大的活性炭或浸漬碳來吸收酸性和鹼性氣體並保護其設備免受腐蝕。

關於光電空氣淨化用活性炭的結論

當您考慮建立先進的光電晶圓廠並確保高質量的生產環境時,活性炭無疑是不可或缺的合作夥伴。其卓越的吸附性能,尤其是有效去除酸性和鹼性氣體,將為您的工藝提供穩定性和可靠性,確保卓越的產品質量。

我們的專業團隊致力於為您提供活性炭和相關解決方案,以滿足您的光電工廠需求。如果您有任何疑問或需要報價, 請隨時與我們聯繫。
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