位置  :  > 应用 > 活性炭

光电空气净化用活性炭

日期 :2023-09-05
分类: 活性炭

光电晶圆厂空气净化定制活性炭解决方案

光电晶圆厂属于精密制造行业,对空气过滤要求严格,其生产过程需要在高度洁净的环境中进行。因此,晶圆厂对空气洁净度要求非常高。废气是什么?而如何选择合适的活性炭极其重要。

废气光电晶圆厂

废气成分

光电晶圆工厂涉及许多精细的工艺步骤,需要精确的环境控制。光电行业废气污染物包括以下内容:
• 酸性废气
• 碱性废气
• 有毒废气
• 苯系列(甲苯、二甲苯)
• 酮系气体(丙酮、异丙醇、2-丁酮)
• 乙酸乙酯、二氯甲烷、
• 其他有机废气

废气来源

酸碱废气主要来自扩散、CVD、CMP、刻蚀等工艺,这些工艺使用酸碱清洗液对晶圆进行清洗。目前,过氧化氢和硫酸的混合物是半导体制造工艺中常用的清洁溶剂。这些过程中产生的废气包括硫酸、氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸等挥发气体。碱性气体是氨。

废气影响

酸性和碱性气体的存在可能会对光电晶片和半导体器件的质量产生不利影响。酸性和碱性气体对光电工厂设备的腐蚀可能会导致设备损坏和寿命缩短。这些气体中的酸性成分(如氢氟酸、氯化氢)和碱性成分(如氨)能与设备表面的金属或其他材料发生化学反应,引起材料的侵蚀和腐蚀。

活性炭吸附

活性炭是一种特殊的过滤材料。虽然过滤精度不是很高,但可以有效吸收空气中的异味或有害气体。它通常由椰子壳、坚果壳或煤炭等经过高温活化的材料制成。活化后,活性炭材料内部会形成复杂而致密的孔隙结构,使其获得良好的吸附能力。高温高效空气过滤器中的活性炭过滤器在净化过程中会牢牢吸附空气中的有害气体分子。然后,在分子间力的吸引下,越来越多的有害气体分子会进入过滤器。直到空隙结构被填充。活性炭高效过滤器可以有效去除空气中的高浓度酸、碱和有机化合物气体以及空气中的各种有害气体。

如何选择活性炭光电产业?

通常,工厂在生产车间内安装高效过滤器和空气净化设备来净化空气。为了遵守严格的空气质量标准,工厂通常采用碘值较高且比表面积较大的活性炭或浸渍碳来吸收酸性和碱性气体并保护其设备免受腐蚀。

关于光电空气净化用活性炭的结论

当您考虑建立先进的光电晶圆厂并确保高质量的生产环境时,活性炭无疑是不可或缺的合作伙伴。其卓越的吸附性能,尤其是有效去除酸性和碱性气体,将为您的工艺提供稳定性和可靠性,确保卓越的产品质量。

我们的专业团队致力于为您提供活性炭和相关解决方案,以满足您的光电工厂需求。如果您有任何疑问或需要报价, 请随时与我们联系。
询问
我们不仅提供好的产品,而且提供优质的服务。如果您对我们的产品感兴趣,可以通过以下方式联系我们。
姓名:
*电子邮件:
电话:
* 留言:
联系信息
请随时在表格中提出您的询问
我们将在 24 小时内回复您