Các giải pháp than hoạt tính tùy chỉnh để lọc không khí tại nhà máy sản xuất wafer quang điện tử
Nhà máy sản xuất tấm bán dẫn quang điện tử là ngành sản xuất chính xác với các yêu cầu nghiêm ngặt về lọc không khí và quy trình sản xuất của chúng cần phải được thực hiện trong môi trường cực kỳ sạch sẽ. Do đó, yêu cầu về độ sạch không khí rất cao đối với nhà máy sản xuất tấm bán dẫn. Khí thải là gì? Và việc lựa chọn than hoạt tính như thế nào cho phù hợp là điều vô cùng quan trọng.
Khí thảicủaNhà máy wafer quang điện tử
khí thảicác thành phần
Nhà máy sản xuất tấm bán dẫn quang điện tử bao gồm nhiều bước quy trình phức tạp đòi hỏi phải kiểm soát môi trường một cách chính xác. Các chất gây ô nhiễm khí thải trong ngành quang điện tử bao gồm:• Khí thải có tính axit
• Khí thải kiềm
• Khí thải độc hại
• Dòng benzen ( toluene, xylene)
• Khí ketone (acetone, rượu isopropyl, 2-butanone)
• Ethyl axetat, methylene clorua,
• Khí thải hữu cơ khác
Khí thảinguồn
Khí thải axit-bazơ chủ yếu đến từ các quá trình như khuếch tán, CVD, CMP và khắc axit, sử dụng dung dịch làm sạch axit-bazơ để làm sạch wafer. Hiện nay, hỗn hợp hydro peroxide và axit sulfuric là dung môi làm sạch phổ biến được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Khí thải được tạo ra trong các quá trình này bao gồm các khí dễ bay hơi như axit sulfuric, axit flohydric, axit clohydric, axit nitric và axit photphoric. Khí kiềm là amoniac.ảnh hưởng của khí thải
Sự hiện diện của khí axit và kiềm có thể ảnh hưởng xấu đến chất lượng của tấm quang điện tử và thiết bị bán dẫn. Sự ăn mòn thiết bị trong các nhà máy quang điện tử do khí axit và kiềm có thể dẫn đến hư hỏng thiết bị và giảm tuổi thọ. Các thành phần axit (như axit hydrofluoric, hydro clorua) và các thành phần cơ bản (như amoniac) trong các loại khí này có thể phản ứng hóa học với kim loại hoặc các vật liệu khác trên bề mặt thiết bị, gây xói mòn và ăn mòn vật liệu.Hấp thụ than hoạt tính
Than hoạt tính là vật liệu lọc đặc biệt. Mặc dù độ chính xác của bộ lọc không cao lắm nhưng nó có thể hấp thụ hiệu quả mùi hôi hoặc khí độc hại trong không khí. Nó thường được làm từ những vật liệu như vỏ dừa, vỏ hạt hoặc than đã được kích hoạt ở nhiệt độ cao. Sau khi kích hoạt, cấu trúc lỗ rỗng phức tạp và dày đặc sẽ được hình thành bên trong vật liệu than hoạt tính, giúp nó có được khả năng hấp phụ tốt. Bộ lọc than hoạt tính trong bộ lọc không khí hiệu suất cao ở nhiệt độ cao sẽ hấp thụ chắc chắn các phân tử khí độc hại trong không khí trong quá trình lọc. Khi đó, dưới sự hấp dẫn của lực liên phân tử, ngày càng nhiều phân tử khí độc hại sẽ đi vào bộ lọc. trong mạng cho đến khi cấu trúc trống được lấp đầy. Bộ lọc hiệu quả cao bằng than hoạt tính có thể loại bỏ hiệu quả các loại khí axit, kiềm và hữu cơ nồng độ cao trong không khí và các loại khí độc hại khác nhau trong không khí.
Cách chọn than hoạt tính choCông nghiệp quang điện tử?
Thông thường, các nhà máy lắp đặt các bộ lọc và thiết bị lọc không khí hiệu suất cao trong xưởng sản xuất của họ để làm sạch không khí. Để tuân thủ các tiêu chuẩn chất lượng không khí nghiêm ngặt, các nhà máy thường sử dụng than hoạt tính có giá trị iốt cao và diện tích bề mặt cụ thể mở rộng hoặc carbon tẩm để hấp thụ khí axit và kiềm và bảo vệ thiết bị của họ khỏi bị ăn mòn.Kết luận về than hoạt tính cho Than hoạt tính để lọc không khí quang điện tử
Khi bạn cân nhắc việc thiết lập một nhà máy quang điện tử tiên tiến và đảm bảo môi trường sản xuất chất lượng cao, than hoạt tính chắc chắn là đối tác không thể thiếu. Đặc tính hấp phụ tuyệt vời của nó, đặc biệt là loại bỏ hiệu quả các khí axit và kiềm, sẽ mang lại sự ổn định và độ tin cậy cho quy trình của bạn, đảm bảo chất lượng sản phẩm tuyệt vời.Đội ngũ chuyên nghiệp của chúng tôi tận tâm cung cấp cho bạn than hoạt tính và các giải pháp liên quan mà bạn cần để đáp ứng nhu cầu của nhà máy quang điện tử. Nếu bạn có thắc mắc hoặc cần báo giá, Xin cứ thoải mái liên lạc với chúng tôi.
