Op maat gemaakte actieve kooloplossingen voor opto-elektronische luchtzuivering in waferfabrieken
Opto-elektronische waferfabrieken zijn precisieproductie-industrieën met strikte luchtfiltratie-eisen, en hun productieprocessen moeten worden uitgevoerd in een zeer schone omgeving. Daarom zijn de vereisten voor luchtzuiverheid zeer hoog voor wafelfabrieken. Wat is het afvalgas? En hoe u de geschikte actieve kool kiest, is uiterst belangrijk.
Gas verspillenvanOpto-elektronische wafelfabrieken
gas verspillencomponenten
Opto-elektronische waferfabriek omvat veel delicate processtappen die nauwkeurige omgevingscontrole vereisen. Afgasverontreinigende stoffen in de opto-elektronische industrie omvatten het volgende:• Zure afgassen
• Alkalische afgassen
• Giftige afgassen
• Benzeenreeks (tolueen, xyleen)
• Gas uit de ketonserie (aceton, isopropylalcohol, 2-butanon)
• Ethylacetaat, methyleenchloride,
• Andere organische afvalgassen
Gas verspillenbron
Zuur-base-afvalgas is voornamelijk afkomstig van processen zoals diffusie, CVD, CMP en etsen, waarbij gebruik wordt gemaakt van een zuur-base-reinigingsoplossing om de wafer te reinigen. Momenteel is een mengsel van waterstofperoxide en zwavelzuur een veelgebruikt reinigingsoplosmiddel dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders. De uitlaatgassen die bij deze processen worden gegenereerd, omvatten vervluchtigde gassen zoals zwavelzuur, fluorwaterstofzuur, zoutzuur, salpeterzuur en fosforzuur. Het alkalische gas is ammoniak.invloed van afvalgas
De aanwezigheid van zure en alkalische gassen kan de kwaliteit van opto-elektronische wafers en halfgeleiderapparaten negatief beïnvloeden. Corrosie van apparatuur in opto-elektronische fabrieken door zure en alkalische gassen kan leiden tot schade aan de apparatuur en een kortere levensduur. De zure componenten (zoals fluorwaterstofzuur, waterstofchloride) en basische componenten (zoals ammoniak) in deze gassen kunnen chemisch reageren met metalen of andere materialen op het oppervlak van apparatuur, waardoor erosie en corrosie van materialen ontstaat.Actieve koolabsorptie
Actieve kool is een speciaal filtermateriaal. Hoewel de filternauwkeurigheid niet erg hoog is, kan het effectief geuren of schadelijke gassen in de lucht absorberen. Het wordt meestal gemaakt van materialen zoals kokosnootschalen, notendoppen of steenkool die bij hoge temperaturen zijn geactiveerd. Na activering zal er een complexe en dichte poriënstructuur worden gevormd in het actieve koolmateriaal, waardoor het een goed adsorptievermogen kan verkrijgen. Het actieve koolfilter in het hoge-efficiëntie luchtfilter op hoge temperatuur zal tijdens het zuiveringsproces schadelijke gasmoleculen in de lucht stevig adsorberen. Vervolgens zullen onder de aantrekkingskracht van intermoleculaire krachten steeds meer schadelijke gasmoleculen het filter binnendringen. in het net totdat de lege structuur is gevuld. Het hoogrendementfilter met actieve kool kan effectief zuur-, alkali- en organische verbindingsgassen in de lucht en verschillende schadelijke gassen in de lucht effectief verwijderen.
Hoe u actieve kool kiestOpto-elektronische industrie?
Normaal gesproken installeren fabrieken hoogefficiënte filters en luchtzuiveringsapparatuur in hun productiewerkplaatsen om de lucht te reinigen. Om aan strenge luchtkwaliteitsnormen te voldoen, gebruiken fabrieken gewoonlijk actieve kool met verhoogde jodiumwaarden en uitgestrekte specifieke oppervlakken, of geïmpregneerde koolstof, om zure en alkalische gassen te absorberen en hun apparatuur te beschermen tegen corrosie.Conclusie over actieve kool voor actieve kool voor opto-elektronische luchtzuivering
Wanneer u overweegt een geavanceerde opto-elektronische fabriek op te zetten en een hoogwaardige productieomgeving te garanderen, is actieve kool ongetwijfeld een onmisbare partner. De uitstekende adsorptie-eigenschappen, vooral de efficiënte verwijdering van zure en alkalische gassen, zorgen voor stabiliteit en betrouwbaarheid van uw processen, waardoor een uitstekende productkwaliteit wordt gegarandeerd.Ons professionele team is toegewijd om u de actieve kool en aanverwante oplossingen te bieden die u nodig heeft om aan uw opto-elektronische fabrieksbehoeften te voldoen. Als u vragen heeft of een offerte nodig heeft, Neem dan gerust contact met ons op.
