광전자 웨이퍼 공장 공기 정화를 위한 맞춤형 활성탄 솔루션
광전자 웨이퍼 팹은 공기 여과 요건이 엄격한 정밀 제조 산업으로, 생산 공정은 매우 깨끗한 환경에서 수행되어야 합니다. 따라서 웨이퍼 팹의 공기 청정도 요구 사항은 매우 높습니다. 폐가스란 무엇입니까? 그리고 적합한 활성탄을 선택하는 방법은 매우 중요합니다.
폐가스~의광전자 웨이퍼 팹
폐가스구성 요소
광전자 웨이퍼 공장에는 정밀한 환경 제어가 필요한 많은 섬세한 공정 단계가 포함됩니다. 광전자 산업의 폐가스 오염물질은 다음과 같습니다.• 산성 폐가스
• 알칼리성 폐가스
• 독성 폐가스
• 벤젠 계열(톨루엔, 자일렌)
• 케톤계 가스(아세톤, 이소프로필 알코올, 2-부탄온)
• 초산에틸, 염화메틸렌,
• 기타 유기 폐가스
폐가스원천
산성 폐가스는 주로 산성 세정액을 사용하여 웨이퍼를 세정하는 확산, CVD, CMP, 에칭 등의 공정에서 발생합니다. 현재 반도체 제조공정에서 흔히 사용되는 세정용제는 과산화수소와 황산의 혼합물이다. 이들 공정에서 발생하는 배기가스는 황산, 불산, 염산, 질산, 인산 등의 휘발가스를 포함한다. 알칼리성 가스는 암모니아입니다.폐가스 영향
산성 및 알칼리성 가스의 존재는 광전자 웨이퍼 및 반도체 장치의 품질에 부정적인 영향을 미칠 수 있습니다. 산성 및 알칼리성 가스로 인해 광전자 제조 시설의 장비가 부식되면 장비가 손상되고 수명이 단축될 수 있습니다. 이러한 가스에 포함된 산성 성분(예: 불산, 염화수소) 및 기본 성분(예: 암모니아)은 장비 표면의 금속 또는 기타 물질과 화학적으로 반응하여 재료의 침식을 일으킬 수 있습니다.활성탄 흡수
활성탄은 특수 필터 재료입니다. 필터 정확도는 그다지 높지 않지만 공기 중의 냄새나 유해가스를 효과적으로 흡수할 수 있습니다. 일반적으로 고온에서 활성화된 코코넛 껍질, 견과류 껍질 또는 석탄과 같은 재료로 만들어집니다. 활성화 후 활성탄 재료 내부에 복잡하고 조밀한 기공 구조가 형성되어 우수한 흡착 능력을 얻을 수 있습니다. 고온 고효율 공기 필터의 활성탄 필터는 정화 과정에서 공기 중의 유해 가스 분자를 단단히 흡착합니다. 그러면 분자간 힘의 작용으로 점점 더 많은 유해 가스 분자가 필터에 유입됩니다. 빈 구조가 채워질 때까지 그물에 넣습니다. 활성탄 고효율 필터는 공기 중의 고농도 산, 알칼리, 유기화합물 가스와 공기 중의 각종 유해가스를 효과적으로 제거할 수 있습니다.
활성탄을 선택하는 방법광전자 산업?
일반적으로 공장에서는 공기를 정화하기 위해 생산 작업장 내에 고효율 필터와 공기 정화 장비를 설치합니다. 엄격한 공기 품질 기준을 준수하기 위해 제조 공장에서는 일반적으로 요오드 값이 높고 비표면적이 넓은 활성탄이나 함침 탄소를 사용하여 산성 및 알칼리성 가스를 흡수하고 부식으로부터 장비를 보호합니다.광전자 공기 정화용 활성탄의 활성탄에 대한 결론
첨단 광전자공학 공장을 설립하고 고품질 생산 환경을 보장하는 것을 고려할 때 활성탄은 의심할 여지 없이 필수적인 파트너입니다. 탁월한 흡착 특성, 특히 산성 및 알칼리성 가스의 효율적인 제거는 공정에 안정성과 신뢰성을 제공하여 우수한 제품 품질을 보장합니다.당사의 전문 팀은 귀하의 광전자공학 공장 요구 사항을 충족하는 데 필요한 활성탄 및 관련 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 궁금하신 점이나 견적이 필요하신 경우, 언제든지 연락 주시기 바랍니다.
