オプトエレクトロニクスウェーハ工場の空気浄化用のカスタマイズされた活性炭ソリューション
オプトエレクトロニクス ウェーハ製造工場は、厳格な空気ろ過要件を備えた精密製造産業であり、その生産プロセスは非常にクリーンな環境で実行される必要があります。したがって、ウェーハ製造工場では空気清浄度の要件が非常に高くなります。廃ガスとは何ですか？そして、適切な活性炭をどのように選択するかが非常に重要です。
廃ガスのオプトエレクトロニクスウエハーファブ
廃ガスコンポーネント
オプトエレクトロニクス ウェーハ工場には、正確な環境制御を必要とする多くの繊細なプロセス ステップが含まれます。オプトエレクトロニクス産業における廃ガス汚染物質には次のものがあります。• 酸性排ガス
• アルカリ性廃ガス
• 有毒な排ガス
• ベンゼン系（トルエン、キシレン）
• ケトン系ガス（アセトン、イソプロピルアルコール、2-ブタノン）
• 酢酸エチル、塩化メチレン、
• その他の有機廃ガス
廃ガスソース
酸ベースの廃ガスは主に、ウェーハを洗浄するために酸ベースの洗浄液を使用する拡散、CVD、CMP、エッチングなどのプロセスから発生します。現在、過酸化水素と硫酸の混合物が半導体製造プロセスで使用される一般的な洗浄溶剤です。これらの工程で発生する排ガスには、硫酸、フッ酸、塩酸、硝酸、リン酸などの揮発ガスが含まれます。アルカリ性ガスはアンモニアです。排ガスの影響
酸性およびアルカリ性ガスの存在は、オプトエレクトロニクス ウェーハや半導体デバイスの品質に悪影響を与える可能性があります。酸性およびアルカリ性ガスによるオプトエレクトロニクス工場内の機器の腐食は、機器の損傷や寿命の低下につながる可能性があります。これらのガスに含まれる酸性成分（フッ酸、塩化水素など）や塩基性成分（アンモニアなど）は、機器表面の金属やその他の材料と化学反応を起こし、材料の浸食や腐食を引き起こす可能性があります。活性炭吸着
活性炭は特殊なフィルター素材です。フィルターの精度はそれほど高くありませんが、空気中の臭気や有害なガスを効果的に吸収します。通常、高温で活性化されたココナッツの殻、ナッツの殻、石炭などの材料から作られます。活性化後、活性炭材料の内部には複雑で緻密な細孔構造が形成され、良好な吸着能力が得られます。高温高効率エアフィルターの活性炭フィルターは、浄化プロセス中に空気中の有害なガス分子をしっかりと吸着します。その後、分子間力の影響で、ますます多くの有害なガス分子がフィルターに入ります。空隙構造が満たされるまでネットに入れます。活性炭高性能フィルターは空気中の高濃度の酸、アルカリ、有機化合物ガスや空気中の各種有害ガスを効果的に除去します。
活性炭の選び方オプトエレクトロニクス産業?
通常、工場では空気を浄化するために生産作業場内に高効率フィルターと空気浄化装置を設置します。厳しい空気品質基準を遵守するため、工場では一般に、酸性およびアルカリ性ガスを吸収し、設備を腐食から保護するために、ヨウ素価が高く、比表面積が大きい活性炭、または含浸炭素を採用しています。光電子空気浄化用活性炭の活性炭に関する結論
先進的なオプトエレクトロニクス工場の設立と高品質な生産環境の確保を検討する場合、活性炭は間違いなく不可欠なパートナーです。その優れた吸着特性、特に酸性およびアルカリ性ガスの効率的な除去により、プロセスに安定性と信頼性がもたらされ、優れた製品品質が保証されます。当社の専門チームは、光電子製造工場のニーズを満たすために必要な活性炭および関連ソリューションを提供することに専念しています。ご質問やお見積りが必要な場合は、 お気軽にお問い合わせ下さい。
