Maßgeschneiderte Aktivkohlelösungen für die Luftreinigung in optoelektronischen Waferfabriken

Optoelektronische Waferfabriken sind Präzisionsfertigungsindustrien mit strengen Anforderungen an die Luftfiltration, und ihre Produktionsprozesse müssen in einer hochreinen Umgebung durchgeführt werden. Daher sind die Anforderungen an die Luftreinheit in Waferfabriken sehr hoch. Was ist das Abgas? Und wie man die passende Aktivkohle auswählt, ist äußerst wichtig.

Benzin verschwendenvonOptoelektronische Waferfabriken

Benzin verschwendenKomponenten

Optoelektronische Waferfabriken umfassen viele heikle Prozessschritte, die eine präzise Umgebungskontrolle erfordern. Zu den Abgasschadstoffen in der optoelektronischen Industrie zählen:
• Saure Abgase
• Alkalische Abgase
• Giftige Abgase
• Benzolreihe (Toluol, Xylol)
• Gas der Ketonreihe (Aceton, Isopropylalkohol, 2-Butanon)
• Ethylacetat, Methylenchlorid,
• Andere organische Abgase

Benzin verschwendenQuelle

Säure-Base-Abgase stammen hauptsächlich aus Prozessen wie Diffusion, CVD, CMP und Ätzen, bei denen zur Reinigung des Wafers Säure-Base-Reinigungslösungen verwendet werden. Derzeit ist eine Mischung aus Wasserstoffperoxid und Schwefelsäure ein gängiges Reinigungslösungsmittel, das in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Zu den bei diesen Prozessen entstehenden Abgasen gehören verflüchtigte Gase wie Schwefelsäure, Flusssäure, Salzsäure, Salpetersäure und Phosphorsäure. Das alkalische Gas ist Ammoniak.

Abgaseinfluss

Das Vorhandensein saurer und alkalischer Gase kann die Qualität optoelektronischer Wafer und Halbleiterbauelemente beeinträchtigen. Korrosion von Geräten in optoelektronischen Fabriken durch saure und alkalische Gase kann zu Geräteschäden und einer verkürzten Lebensdauer führen. Die sauren Bestandteile (wie Flusssäure, Chlorwasserstoff) und basische Bestandteile (wie Ammoniak) in diesen Gasen können chemisch mit Metallen oder anderen Materialien auf der Oberfläche von Geräten reagieren und zu Erosion und Korrosion von Materialien führen.

Aktivkohleabsorption

Aktivkohle ist ein spezielles Filtermaterial. Obwohl die Filtergenauigkeit nicht sehr hoch ist, kann er Gerüche oder schädliche Gase in der Luft effektiv absorbieren. Es wird meist aus Materialien wie Kokosnussschalen, Nussschalen oder Kohle hergestellt, die bei hohen Temperaturen aktiviert wurden. Nach der Aktivierung bildet sich im Inneren des Aktivkohlematerials eine komplexe und dichte Porenstruktur, die eine gute Adsorptionskapazität ermöglicht. Der Aktivkohlefilter im Hochtemperatur-Hochleistungsluftfilter adsorbiert während des Reinigungsprozesses fest schädliche Gasmoleküle in der Luft. Dann dringen durch die Anziehung intermolekularer Kräfte immer mehr schädliche Gasmoleküle in den Filter ein. im Netz, bis die Hohlraumstruktur gefüllt ist. Der hocheffiziente Aktivkohlefilter kann hochkonzentrierte Säuren, Laugen und Gase organischer Verbindungen in der Luft sowie verschiedene schädliche Gase in der Luft wirksam entfernen.

So wählen Sie Aktivkohle ausOptoelektronische Industrie?

Typischerweise installieren Fabriken in ihren Produktionshallen hocheffiziente Filter und Luftreinigungsgeräte, um die Luft zu reinigen. Um strenge Luftqualitätsstandards einzuhalten, verwenden Fabriken üblicherweise Aktivkohle mit hohem Jodwert und großer spezifischer Oberfläche oder imprägnierte Kohle, um saure und alkalische Gase zu absorbieren und ihre Ausrüstung vor Korrosion zu schützen.

Fazit zu Aktivkohle für Aktivkohle zur optoelektronischen Luftreinigung

Wenn Sie über den Aufbau einer fortschrittlichen optoelektronischen Fabrik und die Gewährleistung einer hochwertigen Produktionsumgebung nachdenken, ist Aktivkohle zweifellos ein unverzichtbarer Partner. Seine hervorragenden Adsorptionseigenschaften, insbesondere die effiziente Entfernung saurer und alkalischer Gase, sorgen für Stabilität und Zuverlässigkeit Ihrer Prozesse und sorgen für eine hervorragende Produktqualität.

Unser professionelles Team ist bestrebt, Ihnen die Aktivkohle und die damit verbundenen Lösungen zur Verfügung zu stellen, die Sie zur Erfüllung Ihrer optoelektronischen Fertigungsanforderungen benötigen. Wenn Sie Fragen haben oder ein Angebot benötigen, Sie können uns gerne kontaktieren.