حلول الكربون المنشط المخصصة لتنقية الهواء في مصانع الرقائق الإلكترونية الضوئية
إن مصانع الرقائق الإلكترونية الضوئية هي صناعات تصنيعية دقيقة ذات متطلبات صارمة لتنقية الهواء، ويجب تنفيذ عمليات إنتاجها في بيئة نظيفة للغاية. ولذلك، فإن متطلبات نظافة الهواء مرتفعة جدًا بالنسبة لمصانع الويفر. ما هو الغاز المهدر؟ وكيفية اختيار الكربون المنشط المناسب أمر في غاية الأهمية.
النفايات الغازيةلمصنعي الرقائق الإلكترونية الضوئية
النفايات الغازيةعناصر
يتضمن مصنع الرقائق الإلكترونية الضوئية العديد من خطوات العملية الدقيقة التي تتطلب مراقبة بيئية دقيقة. تشمل ملوثات الغازات العادمة في صناعة الإلكترونيات الضوئية ما يلي:• غازات النفايات الحمضية
• غازات النفايات القلوية
• غازات النفايات السامة
• سلسلة البنزين (التولوين، الزيلين)
• غاز سلسلة الكيتون (الأسيتون، كحول الأيزوبروبيل، 2-بوتانون)
• أسيتات الإيثيل، وكلوريد الميثيلين،
• غازات النفايات العضوية الأخرى
النفايات الغازيةمصدر
يأتي غاز النفايات الحمضي القاعدي بشكل أساسي من عمليات مثل الانتشار، وCVD، وCMP، والحفر، والتي تستخدم محلول التنظيف الحمضي القاعدي لتنظيف الرقاقة. حاليًا، يعد خليط بيروكسيد الهيدروجين وحمض الكبريتيك من مذيبات التنظيف الشائعة المستخدمة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. وتشمل غازات العادم المتولدة في هذه العمليات الغازات المتطايرة مثل حمض الكبريتيك، وحمض الهيدروفلوريك، وحمض الهيدروكلوريك، وحمض النيتريك، وحمض الفوسفوريك. الغاز القلوي هو الأمونيا.تأثير غاز النفايات
قد يؤثر وجود الغازات الحمضية والقلوية سلبًا على جودة الرقائق الإلكترونية الضوئية وأجهزة أشباه الموصلات. قد يؤدي تآكل المعدات في المصانع الإلكترونية البصرية بواسطة الغازات الحمضية والقلوية إلى تلف المعدات وتقليل العمر الافتراضي. يمكن للمكونات الحمضية (مثل حمض الهيدروفلوريك وكلوريد الهيدروجين) والمكونات الأساسية (مثل الأمونيا) في هذه الغازات أن تتفاعل كيميائيًا مع المعادن أو المواد الأخرى الموجودة على سطح المعدات، مما يسبب تآكل المواد وتآكلها.امتصاص الكربون المنشط
الكربون المنشط هو مادة ترشيح خاصة. على الرغم من أن دقة الفلتر ليست عالية جدًا، إلا أنه يمكنه امتصاص الروائح أو الغازات الضارة الموجودة في الهواء بشكل فعال. عادة ما يتم تصنيعه من مواد مثل قشور جوز الهند أو قشور الجوز أو الفحم الذي تم تنشيطه عند درجات حرارة عالية. بعد التنشيط، سيتم تشكيل هيكل مسامي معقد وكثيف داخل مادة الكربون المنشط، مما يسمح لها بالحصول على قدرة امتصاص جيدة. سوف يقوم مرشح الكربون المنشط الموجود في مرشح الهواء عالي الكفاءة بدرجة الحرارة العالية بامتصاص جزيئات الغاز الضارة في الهواء بقوة أثناء عملية التنقية. بعد ذلك، في ظل جذب القوى بين الجزيئات، ستدخل جزيئات الغاز الضارة بشكل متزايد إلى المرشح. في الشبكة حتى يتم ملء الهيكل الفراغي. يمكن لفلتر الكربون المنشط عالي الكفاءة أن يزيل بشكل فعال الأحماض عالية التركيز والغازات القلوية والمركبات العضوية في الهواء والغازات الضارة المختلفة في الهواء.
كيفية اختيار الكربون المنشط لصناعة الإلكترونيات الضوئية؟
عادة، تقوم المصانع بتركيب مرشحات عالية الكفاءة ومعدات تنقية الهواء داخل ورش الإنتاج الخاصة بها لتنقية الهواء. وللالتزام بمعايير جودة الهواء الصارمة، تستخدم المصانع عادةً الكربون المنشط بقيم يود مرتفعة ومساحات سطحية واسعة محددة، أو الكربون المشرب، لامتصاص الغازات الحمضية والقلوية وحماية معداتها من التآكل.استنتاج حول الكربون المنشط للكربون المنشط لتنقية الهواء الضوئية
عندما تفكر في إنشاء مصنع إلكترونيات بصرية متقدم وضمان بيئة إنتاج عالية الجودة، فإن الكربون المنشط هو بلا شك شريك لا غنى عنه. ستوفر خصائص الامتصاص الممتازة، وخاصة الإزالة الفعالة للغازات الحمضية والقلوية، الاستقرار والموثوقية لعملياتك، مما يضمن جودة المنتج الممتازة.فريقنا المحترف مكرس لتزويدك بالكربون المنشط والحلول ذات الصلة التي تحتاجها لتلبية احتياجاتك الإلكترونية البصرية. إذا كان لديك أي أسئلة أو بحاجة إلى عرض أسعار، لا تتردد في الاتصال بنا.
